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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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閱讀：183 發(fā)布時(shí)間：2020/09/22
臺(tái)式狹縫涂布機(jī)
涂布系統(tǒng)主要包括供料單元和涂布單元，涂布單元是通過(guò)利用精密機(jī)械加工
所制作的上下模及安裝在上下模間的薄墊片所組成，供料單元由儲(chǔ)料、輸送的注
射泵及過(guò)濾裝置等組成。系統(tǒng)由涂布模具相對(duì)于基片作準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)，通過(guò)控制速率、
精密計(jì)量和泵送工藝流體，將液體化學(xué)材料從上下模之間的縫隙擠出涂布于移動(dòng)
的基板（玻璃、不銹鋼和塑料等）上形成薄膜。涂膜厚度可由液體流量與基板移
動(dòng)速度直接計(jì)算，其優(yōu)點(diǎn)為涂膜均勻性高、可適用的涂料粘度范圍廣、涂布速度
快、以及可制作大面積的涂膜。適用于有機(jī)太陽(yáng)能電池 OPV 和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池 PVK 等基材的涂布，非連續(xù)基材如 LCD 玻璃基板光阻涂布，也應(yīng)用于光學(xué)膜（增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴(kuò)散膜等）、OLED 涂布等。多種規(guī)格尺寸可選可定制，多種人性化配置可選：加熱臺(tái)、特殊氣體吹淋系統(tǒng)、多尺寸刀頭，多規(guī)格墊片等，滿(mǎn)足客戶(hù)多種需求，為客戶(hù)量身定制高精密專(zhuān)業(yè)設(shè)備。
•設(shè)備整體采用兩級(jí)調(diào)整確保大面積平臺(tái)水平度，涂布平臺(tái)有單獨(dú)的調(diào)平機(jī)構(gòu)，平臺(tái)是否平整作為工藝門(mén)檻的一步相當(dāng)于地基。
•涂布刀頭采用專(zhuān)用合金，特殊表面熱處理的進(jìn)口大尺寸刀頭（自有設(shè)計(jì)技術(shù)），防有機(jī)溶劑，防形變。
•Z 軸采用伺服電機(jī)配合編碼器加光柵尺雙閉環(huán)，確保刀頭的位置精度，和刀頭的水平度。
•集成化注射泵，可聯(lián)動(dòng)控制溶液流速，自動(dòng)進(jìn)液，自動(dòng)除氣，自動(dòng)管路清洗（需要配備清洗液，刀頭需拆卸清洗）。
•涂布平臺(tái)運(yùn)行機(jī)構(gòu)采用直線(xiàn)伺服電機(jī)提高平臺(tái)穩(wěn)定性，將工藝中影響的因素減到很小。
•廢液回收系統(tǒng)，可配合管路清洗進(jìn)行廢液回收，方便廢液處理。
•涂布平臺(tái)帶有多區(qū)域真空吸附功能，基底定位功能，方便基底定位以及涂布過(guò)程的固定。
•多段式涂布工藝，更好的保證基底首尾膜厚的控制。
